Atomic Layer Deposition

OLED显示器会由于水蒸气、氧气等的渗透而使内部的有机发光材料氧化。而一层用ALD技术沉积的Al2O3膜就能强烈地阻止水蒸气对OLED的侵蚀。除了防潮层以外,透明导电电极同样可用ALD技术制备, ZnO原子层沉积晶体管栅极介电层薄膜也已经成功研制。