Atomic Layer Deposition

近期有报道利用ALD技术采用Zn和Se的前驱物成功制备了闪锌矿型的ZnSe材料,这从理论上证明了白色光电致发光材料是能制备出来的。在有些刊物上报道了用ALD技术成功地沉积了蓝-红发光(SrS:Cu)元件。