Atomic Layer Deposition

三维的薄膜一致保型性是ALD技术的一个独特的特点。因此在很多高宽深比和超高宽深比领域的微米和纳米级的微孔、管路内沉积薄膜,薄膜的覆盖性和均匀性都非常好。ALD技术的最高沉积宽深比可达1:2000。不管是纳米管、纳米孔、纳米棒、纳米颗粒,还是普通的微型颗粒和异型表面结构均可以实现有效的包裹覆盖功能。应用的领域如:

  • 内部微孔涂层
  • 纳米管及纳米纤维
  • 中空结构表面纳米处理
  • 纳米粘合
  • 生物医用材料表面处理
  • 纳米颗粒包裹