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我公司将交付用于晶体硅太阳能电池表面钝化的ALD系统

发布时间:2012-03-26 丨 浏览:2333
我公司将预计于2012年6月交付首台用于晶体硅太阳能电池Al2O3表面钝化的原子层沉积系统, 该系统可同时处理多片156x156 mm 基片。