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ALD抗原子氧薄膜的制备与研究

发布时间:2010-10-29 丨 浏览:4830
原子氧是指低地球轨道上以原子态氧存在的残余气体环境。是太阳光中紫外光线与氧分子相互作用并使其分解而形成的。原子氧与航天器发生相互作用可以引起航天器结构材料的剥蚀老化,损害航天器热控涂层严重危害航天器的可靠运行。同时危害相关器件。
 
国外有报道利用原子层沉积技术进行原子氧薄膜的制备与研究。国内尚无相关报道。英作纳米科技(北京)有限公司将为该领域的研究提供完整的工艺技术支持。