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晶圆级石墨烯集成电路

发布时间:2011-07-08 丨 浏览:1777

IBM展示了一种晶圆级石墨烯集成电路。石墨烯场效应晶体管和感应器,集成在碳化硅晶圆上。集成电路作为一种宽带射频混频器频率高达10GHz。在300-400 K,石墨烯集成电路表现了优异的热稳定性,性能几乎没有减弱(小于1分贝)。
其中,运用ALD技术制备20nm厚的Al2O3作为栅介质的一部分。
 
信息来源-- Wafer-Scale Graphene Integrated Circuit
science / vol 332 / 10 June 2011 / p:1294-1297