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MassNanoTM  系列是专门为工业化生产而设计的工业极全自动原子层沉积系统。采用了独特的前驱体输运系统,可以完美地实现薄膜厚度与薄膜厚度均匀性的精确控制。配备多种材料的标准沉积工艺配方,满足工业应用的标准, 使用及维护成本低。

主要特点:

精确的过程控制
便捷的操作界面
完善的沉积工艺
快速的温度恢复时间
高批量的生产模式
多重安全机制,易操作
全自动在线系统
低的运营维护成本

我们可针对不同用户的需求提供:

单腔或多腔系统, 基片尺寸:4 -12 英寸, 1m x1.2m 或其他大尺寸基片
基片输运系统:自动Load lock 或机械手

单腔或多腔 Roll to Roll 系统, 适用于大尺寸柔性基材连续沉积

可按用户要求定制

详细信息请联系我们